特許
J-GLOBAL ID：200903044478174112
ペースト塗布機とペースト残量検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193367
公開番号（公開出願番号）：特開2003-001169
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：
【要約】【課題】 ペースト収納筒(シリンジ)の容量や材質に影響されることなく、ペースト収納筒内のペーストの残量を精度よく検出することができるようにする。【解決手段】 ペースト収納筒内に、まず、正圧を印加する(図5(b))。これにより、ペースト収納筒内の圧力が上昇していき(図5(a))、この内部圧力が規定の正圧値(+P)に達すると、印加圧力を負圧に切り替える(図5(c))。これにより、ペースト収納筒内の圧力が下降していき(図5(a))、この内部圧力が規定の負圧値(-P)に達すると、印加圧力を大気圧に切り替える(図5(c))。以上の印加圧力の切り替えにより、図5(a)に示すような圧力波形が圧力センサによって得られ、この圧力波形により、正圧値(+P)から負圧値(-P)に達するまでの圧力応答時間Tを求め、この圧力応答時間Tからペースト収納筒内のペースト液面の高さ(残量)を求める。
請求項（抜粋）：
ノズルの吐出口に対向するようにして基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを該吐出口から該基板上に吐出させながら該基板と該ノズルとの相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画するペースト残量検出方法において、基板搭載処理開始前に該ノズルの先端を基板テーブルの捨て吐出容器上に位置付けた状態で、ペースト収納筒内に正圧,負圧,大気圧の順序で圧力を切り替えて印加しながら、該ペースト収納筒内の圧力を検出して検出した圧力の波形を分析し、該正圧の印加によって該ペースト収納筒内の圧力が予め決められた正圧値から負圧値に到達する圧力応答時間を求め、外圧力応答時間ペースト収納筒内のペースト残量を求めることを特徴とするペースト残量検出方法。
IPC (4件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
, B05D 3/00
, H05K 3/34 504
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
, B05D 3/00 D
, H05K 3/34 504 D
4D075AC95
, 4D075AC99
, 4D075CA47
, 4D075DA08
, 4D075DB31
, 4D075DC27
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA31
, 4F042AA08
, 4F042BA02
, 4F042CB01
, 5E319BB11
, 5E319CD22
, 5E319CD25
