特許
J-GLOBAL ID：200903044478341515
集積回路の回路試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343124
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167549
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 可視域のレーザを使用することができ、かつ空間分解能を向上し、観察系においても安価なCCDカメラを使用することができる集積回路の回路試験装置を提供すること。【構成】 電界によって複屈折率が変化するCdMnTeにレーザ光2を入射させ、信号電界の強度に応じたレーザ光の偏光状態の変化を測定することによって、信号電界の波形を測定する集積回路の回路試験装置。
請求項（抜粋）：
電界によって複屈折率が変化する電気光学材料にプローブ光を入射させ、信号電界の強度に応じて変化したプローブ光の偏光状態の変化を測定することにより、前記信号電界の波形を測定する集積回路の試験装置において、前記電気光学材料は、カドミウムマンガンテルル(CdMnTe)であることを特徴とする集積回路の回路試験装置。
IPC (4件)：
G01R 31/302
, G01R 31/02
, G02F 1/03 501
, H01L 21/66
