特許
J-GLOBAL ID：200903044481537021
試料像の移動制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171799
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343017
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 ステージ移動時の試料像のブレをなくし、表示器上に表示される試料像の動きを自然にする。【構成】 水平・垂直走査偏向器3,4を有し、これらの偏向器3,4に制御信号を入力して電子ビームを試料7面上に2次元的に走査する電子光学系と、電子ビームの走査によって試料7から得られる信号から試料像を表示するCRT12と、試料7を載せるステージ8の位置座標を検出するステージ座標検出器14と、ステージ7が2点間を移動する際ステージ7が2点間を結ぶ直線からずれたとき、ステージ座標検出器14からの位置座標信号に基づいて、電子ビームの移動方向及び移動量を制御する信号を水平・垂直走査偏向器3,4に入力してステージ8が直線に沿って移動したときと等価な試料像をCRT12に表示させる中央制御回路10とを備えている。
請求項（抜粋）：
エネルギービームの偏向器を有し、この偏向器に制御信号を入力して前記ビームを試料面上に2次元的に走査するビーム走査手段と、前記エネルギービームの走査によって前記試料から得られる信号から試料像を表示する表示手段と、前記試料を載置するステージを有し、このステージの位置を機械的に移動させるステージ手段と、前記ステージの位置座標を検出するステージ座標検出手段と、前記ステージが2点間を移動する際前記ステージが2点間を結ぶ直線からずれたとき、前記ステージ座標検出手段からの位置座標信号に基づいて、前記エネルギービームの移動方向及び移動量を制御する信号を前記偏向器に入力して前記ステージが前記直線に沿って移動したときと等価な試料像を前記表示手段に表示させる偏向器制御手段と、を備えていることを特徴とする試料像の移動制御装置。
IPC (5件)：
H01J 37/147
, H01J 37/20
, H01J 37/22
, H01J 37/244
, H01J 37/28
