特許
J-GLOBAL ID：200903044482268628
研磨パッドの清掃方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-206193
公開番号（公開出願番号）：特開2000-237949
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：
【要約】【課題】 本発明は研磨パッドを清掃する方法及び装置に関する。【解決手段】 研磨パッドを清掃するための構造部が、DI水を高圧で研磨パッドの研磨面に付与するための第1の装置と、DI水を除去するための第2の装置とを有する。第1の装置は、典型的には、研磨パッドの回転中、研磨パッド上を半径方向に往復運動する1組のノズルを有する。第2の装置は、研磨面から水を除去するための真空吸込口を有するワイパーを含む。この装置は研磨パッドの有効寿命を延ばし、研磨パッドで作られる製品の製造良品率を高める。
請求項（抜粋）：
ワークピースを研磨しながら回転する、ワークピース研磨用の第1研磨パッドと、前記パッドが研磨に使用されていないとき、前記パッドを清掃するために圧力流体を当てるためのノズルを含み、かつ前記パッドが研磨に使用されていないとき、前記パッドの近くに位置決めすることができ、前記パッドが研磨に使用されているとき、前記パッドから遠ざけることができるように移動できる、第1アームと、前記パッドから前記流体を除去するための第2アームと、を有し、前記第2アームは又、前記パッドが研磨に使用されていないとき、これを前記パッドの近くに位置決めすることができ、前記パッドが研磨に使用されているとき、前記パッドから遠ざけることができるように移動できる、装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 A
, B24B 55/06
3C047GG07
, 3C047GG13
, 3C047HH12
, 3C058AA07
, 3C058AA16
, 3C058AB06
, 3C058AB08
, 3C058AC01
, 3C058BB04
, 3C058BC03
, 3C058CB05
, 3C058DA06
, 3C058DA09
, 3C058DA17
