特許

J-GLOBAL ID：200903044484705472

被検査体の欠陥検査装置

発明者： 田中 優 ,  野口 直樹
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-283932
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118724
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】従来の被検査体の欠陥検査装置によれば、被検査体に存在する欠陥の中で除去可能な付着ダストと、除去困難な傷やこびりつきダストとを識別出来ず、本来容易に除去可能なダストが付着したものまで不良と判定し、製品の出荷歩留まりを低下させる。【解決手段】被検査体4を欠陥検査し、欠陥の存否判定及びその位置検出を行う第1検査手段5と、第1検査手段5によって存判定された欠陥の検出位置においてダスト除去操作を行うダスト除去手段6と、ダスト除去操作後の被検査体を欠陥検査し、第1検査手段5による欠陥検出位置において残存欠陥の存否判定を行う第2検査手段7と、第1、第2各検査手段5、7の判定結果を組み合わせて欠陥内容を識別し、被検査体の良、不良を判定する判定手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

被検査体を欠陥検査し、欠陥の存否判定及びその位置検出を行う第1検査手段と、上記第1検査手段によって存判定された欠陥の検出位置においてダスト除去操作を行うダスト除去手段と、ダスト除去操作後の被検査体を欠陥検査し、上記第1検査手段による欠陥検出位置において残存欠陥の存否判定を行う第2検査手段と、上記第1、第2各検査手段の判定結果を組み合わせて欠陥内容を識別し、被検査体の良、不良を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする被検査体の欠陥検査装置。