洩れ検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305075
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126940
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】簡単な設備で、微小容器の洩れ検査を正確に行うことができる洩れ検査装置を提供する。【解決手段】第1電磁弁32,42を閉じた状態で、モータ34,44駆動によりエアシリンダ33,43を作動させ、マスタ側閉鎖系とワーク側閉鎖系の容量を設定容量だけ変更する。その後で、差圧センサ60で検出された両閉鎖系間の圧力差情報に基づいて、大洩れの有無を判断する。大洩れ有りと判定した場合には、そこで検査を終了する。大洩れ無しと判定した場合には、次に第2電磁弁35,45を閉じ、その後の圧力差情報に基づいて、小洩れの有無を判断する。

請求項（抜粋）：

(イ)洩れの有無を検査すべきワークを収納するワークカプセルと、(ロ)洩れのないマスタ容器を収納するマスタカプセルと、(ハ)一端が上記マスタカプセル及び上記ワークカプセルがそれぞれ接続される接続端となり、他端が大気に開放されているマスタ用エア通路及びワーク用エア通路と、(ニ)上記マスタ用,ワーク用のエア通路にそれぞれ設けられた一対の第1電磁弁と、(ホ)上記マスタ用,ワーク用のエア通路において、上記第1電磁弁より上記接続端側にそれぞれ設けられた一対の第2電磁弁と、(ヘ)上記マスタ用,ワーク用のエア通路において、上記第1,第2電磁弁の間に接続された一対のエアシリンダと、(ト)上記第2電磁弁より接続端側のマスタ用,ワーク用エア通路の圧力差を検出する差圧センサと、(チ)マスタ用及びワーク用エア通路が大気圧にあり、上記一対の第2電磁弁が開き上記一対の第1電磁弁が閉じた状態で、上記一対のエアシリンダを同時に作動させることにより、マスタ用エア通路とマスタカプセルを含む閉鎖系及びワーク用エア通路とワークカプセルを含む閉鎖系の容量を、それぞれ初期容量から設定量だけ変更し、容量変更後の差圧センサからの圧力差情報に基づいてワークに大きな洩れがあるか否かを判断し、ワークに大きな洩れがあると判断した場合には洩れ検査を終了し、ワークに大きな洩れがないと判断した場合には、上記一対の第2電磁弁が閉じた状態で、上記差圧センサからの圧力差情報に基づいて、ワークに小さい洩れがあるか否かを判断する洩れ判断実行手段と、を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。

IPC (3件)：

G01M 3/32 , G01M 3/00 , G01M 3/26

FI (4件)：

G01M 3/32 B , G01M 3/00 K , G01M 3/26 A , G01M 3/26 P

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