特許

J-GLOBAL ID：200903044500457638

ワーク搬送テーブル、ワーク搬送装置、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器

発明者： 小島 健嗣 ,  小林 優揮
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335844
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172319
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】軽量かつ高剛性であるとともに、製造が容易なワーク搬送テーブル、前記ワーク搬送テーブルを備えるワーク搬送装置、前記ワーク搬送装置を備える液滴吐出装置、前記液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、前記液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、前記電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の基板搬送テーブル3は、基台36と、基台36上に設置された複数のブロック33および複数のボールリフト装置34とを備える。基台36は、第1の板31と、第1の板31の下面側に重ねて接合された第2の板32とで構成されている。第1の板31は、炭素鋼等の鉄系合金で構成されており、第2の板32は、金属-セラミックス複合材料で構成されている。第2の板32は、第1の板31より厚さが厚く、基板搬送テーブル3の剛性を確保する機能を有する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

ワークを支持するワーク搬送テーブルであって、 第1の板と、該第1の板の下側に重ねて設置された第2の板とを有する基台を備え、 前記第1の板と前記第2の板とは、物理的特性が互いに異なる材料で構成されていることを特徴とするワーク搬送テーブル。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B05C13/00 ,  G02F1/13

FI (4件)：

H01L21/68 P ,  H01L21/68 F ,  B05C13/00 ,  G02F1/13 101

Fターム (54件)：

2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA07 ,  4F042BA08 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042CB12 ,  4F042CB18 ,  4F042DF07 ,  4F042DF15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA09 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA42 ,  5F031GA46 ,  5F031GA49 ,  5F031GA57 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031HA32 ,  5F031HA48 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA02 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA12 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA21 ,  5F031NA01 ,  5F031PA14 ,  5F031PA16