両凸固体浸漬レンズ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊丹勝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-562674
公開番号（公開出願番号）：特表2005-515514
出願日： 2002年12月11日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

両凸固体浸漬レンズが開示されている。下面が平坦である従来の平凸固体浸漬レンズとは異なり、開示したレンズは下面が凸である。下面の曲率半径は、被検査対象物のそれよりも小さい。この構成によって、被検査フィーチャの場所をより正確に決定することができ、浸漬レンズと被検査対象物との間の光結合が増大される。開示したレンズは特に、半導体デバイス、特にフリップ・チップまたはチップ・スケールのパッケージ・デバイスの検査用の顕微鏡で使用する場合に有用である。浸漬レンズは、光学記憶媒体の読み取りまたは読み取り/書き込みヘッドに組み込むことができる。

請求項（抜粋）：

第1の曲率半径を有する上側凸面と、第2の曲率半径を有する下側凸面と、を備える両凸浸漬レンズ。

IPC (2件)：

G02B13/00 , G02B3/00

FI (2件)：

G02B13/00 , G02B3/00 Z

Fターム (13件)：

2H087KA09 , 2H087KA12 , 2H087KA21 , 2H087LA01 , 2H087PA01 , 2H087PA17 , 2H087PB01 , 2H087QA02 , 2H087QA07 , 2H087QA14 , 2H087QA34 , 2H087RA45 , 2H087UA01

引用特許：

出願人引用 (10件)

米国特許第4,625,114号明細書
米国特許第4,634,234号明細書
米国特許第3,524,694号明細書

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審査官引用 (2件)

光記録装置および光記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-102906 出願人：東レ株式会社
光ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-076956 出願人：株式会社日立製作所

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