特許

J-GLOBAL ID：200903044510671689

水晶フィルター板洗浄用治具

発明者： 小西 隆志 ,  平野 博之 ,  藤本 真也 ,  多田 良臣
出願人/特許権者： 東洋炭素株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337324
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156164
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 工程による治具の使い分けを必要とせず、耐食性、耐衝撃性等の機械的特性に優れ、静電気の問題のない水晶フィルター板洗浄用治具を提供する。【解決手段】 CVD法により、治具の表面に緻密な炭化ケイ素を10μm以上の厚みで形成することにより、水晶フィルター板洗浄用治具とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が炭化ケイ素で形成されている水晶フィルター板洗浄用治具。

Fターム (5件)：

5F031CA20 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA72 ,  5F031MA23