特許
J-GLOBAL ID：200903044510783673
赤外線センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097693
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213708
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 表裏の蓋部材を備えた安価かつ小型の赤外線センサを、ダイシング工程時に架橋構造を破損することなく製造できるようにする。【構成】 全ての素子に裏蓋36および表蓋38を接合させた後、ダイシングソーにより個々に切り離す。このとき発熱等の防止のために冷却水を流しても、あらかじめ表蓋38および裏蓋36により覆われているため、架橋部32aが損傷することがない。
請求項（抜粋）：
架橋部を有し、この架橋部に赤外線感応膜を形成して検知部を構成するとともに、前記検知部を密封したことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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