特許
J-GLOBAL ID：200903044524897965
回転式基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-164660
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335624
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 回転式基板処理装置への搬入基板の位置合わせを簡単な構成で行う。【構成】 電動モータで回転される回転台3は基板Wの裏面を支持するピン状支持部材11と、基板Wの水平方向の位置を規制する規制部材12を備える。各規制部材12は中心軸PJ周りに回転自在で、揺動支点YS周りに揺動可能に構成され圧縮コイルバネ15で基板Wの外周端縁方向に付勢される。回転台3の下方には規制部材12の下端部12bを変位させる傾斜面を有する環状昇降部材16が昇降可能に配備され、この部材16の昇降で各規制部材12の退避とその解除が切替られる。特定の規制部材12は、駆動アームによって中心軸PJ回りに回転駆動される。これにより基板Wは規制部材12に対して回転され、いずれかの規制部材12が基板Wのオリフラに点接触して基板Wが位置合わせされる。
請求項（抜粋）：
オリエンテーションフラットやノッチなどの切り欠き部を有する半導体基板(以下、基板と略す)の裏面を支持するとともに、前記切り欠き部を含む複数個所で前記基板の外周端縁に点接触して前記基板の水平方向の位置を規制した状態で前記基板を所定の回転中心周りで回転させながらその基板に所定の処理を施す回転式基板処理装置であって、回転台と、前記回転台を所定の回転軸周りで回転させる回転駆動手段と、前記回転台に設けられ、前記基板の裏面を支持する支持部材と、前記回転台に設けられ、前記支持部材に支持され回転される前記基板の外周端縁の、少なくとも前記切り欠き部を含む複数個所に点接触して前記基板の水平方向の位置を規制するとともに、それぞれ横断面が略円形で中心軸周りに回転自在に構成された複数個の規制部材と、前記各規制部材が前記基板の外周端縁に接触しない前記基板の外周端縁外側の退避位置に前記各規制部材を退避させる退避手段と、前記退避手段による各規制部材の退避が解除された状態で、前記各規制部材を前記基板の外周端縁方向に付勢させる付勢手段と、搬入され前記支持部材に支持された基板と、前記退避手段による退避が解除された各規制部材とを、逆回りの回転方向へ相対回転させる相対回転手段と、を備えたことを特徴とする回転式基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B05C 11/08
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
, B23Q 16/06
H01L 21/68 G
, B05C 11/08
, H01L 21/304 341 C
, B23Q 16/06 C
, H01L 21/30 564 C
, H01L 21/30 569 C
