特許
J-GLOBAL ID:200903044530648080

圧電振動体

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-251628
公開番号(公開出願番号):特開平9-089573
出願日: 1995年09月28日
公開日(公表日): 1997年04月04日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、検出側振動部で発生させるバタ足振動に起因する圧電振動体の捩じれ、駆動振動部への影響を有効を抑えることにより、機械的共振尖鋭度Qが向上し、機械的な接合信頼性、電気的な接続信頼性を向上させた圧電振動体を提供する。【解決手段】 駆動電極31〜34、41〜44を有する振動枝3、4、及び駆動入力電極51、52を有する中間保持枝5から成る駆動側振動部1Aと、検出電極61〜64、71〜74を有する振動枝6、7、及び検出出力電極81、82を有する中間保持枝8から成る検出側振動部1Bとを結合基部2を挟んで一体的に配置して成る圧電振動体1である。そして、前記駆動側振動部1Aの2つの振動枝3、4の枝間ピッチDPと検出側振動部1Bの振動枝6、7の枝間ピッチSPを夫々相違させる。具体的には、DP<SPとして、さらに各振動枝3、4、6、7の長手方向の中心軸を変位させる。
請求項(抜粋):
四角形状を成す結合基部の対向しあう一方側面に駆動側振動部を構成する2つの振動枝及び該2つの振動枝間に中間保持枝を、他方側面に検出側振動部を構成する2つの振動枝及び該2つの振動枝間に中間保持枝を各々配置した圧電基板と、前記駆動側振動部に駆動振動を発生させるために形成された駆動電極及び駆動入力電極と前記検出側振動部で発生する振動を検出するために形成された検出電極及び検出出力電極とを有する圧電振動体において、前記駆動側振動部の2つの振動枝の枝間ピッチDPと、前記検出側振動部の2つの振動枝の枝間チッピSPとが夫々相違していることを特徴とする圧電振動体。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (21件)
  • 振動型ジャイロスコープ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-082579   出願人:富川義朗, アルプス電気株式会社
  • 特開昭60-239613
  • 特開昭60-239613
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