研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-267873
公開番号（公開出願番号）：特開2004-106064
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】研磨定盤の回転精度、減衰能が向上する軸受機構を搭載した研磨装置を提供する。【解決手段】ここで従来から研磨定盤1を回転支持するために使用されてきた、ころがり、動圧、静圧などの軸受とは異なる軸受け機構として、断熱材からなるリング状の摺動体6と軸受け皿8の間に凍結する液体を満たし、この液体を低温冷却することで氷結させ、リング状摺動体6の形状を正確に転写した氷7の軸受を形成し、固体となった氷面は断熱効果による温度差が微小融解を起こしリング状の摺動面に密着したまますべることにより、発熱を抑えると共に剛性および回転精度の高い軸受を搭載した研磨装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベースに設置された軸受により回転自在に支持された主軸と接続プレートが接続ピンを介して、回転力を定盤ベースプレート及び研磨定盤に伝えると共に、前記定盤ベースプレート下面に断熱材や断熱構造からなる断面形状が、角形やV形または凸形や半円形で回転対称のリング状摺動体を備えたことを特徴とする研磨装置。

IPC (5件)：

B24B41/04 , B24B37/04 , F16C17/02 , F16C33/24 , H01L21/304

FI (5件)：

B24B41/04 , B24B37/04 A , F16C17/02 Z , F16C33/24 Z , H01L21/304 622Z

Fターム (25件)：

3C034AA07 , 3C034BB07 , 3C034CB07 , 3C034DD10 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058AA14 , 3C058AC04 , 3C058BA08 , 3C058BA11 , 3C058BB03 , 3C058BC02 , 3C058CB01 , 3C058CB04 , 3J011AA01 , 3J011AA07 , 3J011AA08 , 3J011BA08 , 3J011DA01 , 3J011JA02 , 3J011KA01 , 3J011MA02 , 3J011QA01 , 3J011RA01 , 3J011SE10

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