特許
J-GLOBAL ID：200903044542226199
光学素子、光学装置、照明装置およびこれを具備した画像表示装置ならびに露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-148519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337868
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 空間コヒーレンスの低減あるいはスペックルの低減を図る光学素子、光学装置、照明装置、画像表示装置および露光装置を提供することである。【解決手段】 入射光光軸に対し45度傾斜し、互いに平行且つ一定の間隔d1で配設する第1の複数の半透過ミラー面4aを有する第1の光学素子(第1のビームスプリッタスタック4)と、第1の複数の半透過ミラー面4aでの反射光の偏光方向を90度回転させる1/2波長板5と、第1の複数の半透過ミラー面4aでの反射光光軸に対し45度傾斜し、互いに平行且つ一定の間隔d2 で配設する第2の複数の半透過ミラー面6aを有する第2の光学素子(第2のビームスプリッタスタック6)とを有し、第1,2の複数の半透過ミラー面4a,6aへの入射光の一部反射と一部透過とを順次行い、第2の複数の半透過ミラー面6aから、順次一定の光路長差を有する複数の光束で構成された分岐光を出射する。
請求項（抜粋）：
入射するコヒーレント光の光軸に対してほぼ45度傾斜するとともに互いに平行且つ一定の間隔で配設する複数の半透過ミラー面を有し、前記複数の半透過ミラー面で前記コヒーレント光の一部反射と一部透過とを順次行い、順次一定の光路長差を有する複数の光束で構成される分岐光を出射することを特徴とする光学素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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