透明性を有するガスバリア性積層フィルム

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214591
公開番号（公開出願番号）：特開平8-072193
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】無色透明であり、かつ高いガスバリア性を有するとともに後加工による外部からの折り曲げや引っ張り等の作用に対して、ガスバリア性が低下しない機械的強度を有する実用性の高い透明ガスバリアフィルムを提供する。【構成】基材2として厚さ12μmのPETフィルムの片面に電子線加熱方式真空蒸着装置により、酸化マグネシウムを約50nmの厚さに蒸着し金属酸化物薄膜層3を形成し、その上にTMDSO、O2 及びHeの混合ガスを原料としてPECVDによって約30nmの炭素を含む酸化珪素層4を形成した。

請求項（抜粋）：

透明性を有する高分子材料からなる基材の片面に無機化合物からなる透明ガスバリア層を積層した積層フィルムにおいて、透明ガスバリア層が金属酸化物薄膜層と炭素を含む酸化珪素薄膜層を順次形成した積層構成であることを特徴とする透明性を有するガスバリア性積層フィルム。

IPC (5件)：

B32B 9/00 , C08J 7/00 306 , C08J 7/04 CFJ , C23C 14/06 , C23C 16/26

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-194944
特開平4-115940
特開平3-239536

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