特許

J-GLOBAL ID：200903044542928835

化学線感応性重合体組成物

発明者： 弓場 智之 ,  江口 益市 ,  三浦 康男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229276
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073172
出願日： 1995年09月06日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【課題】i線(365nm)の透過率が高く、i線露光に適した化学線感応性重合体組成物を得る。【解決手段】アミド基に結合した脂肪族炭化水素を含むことを特徴とするポイリイミド系ポリマを含有する化学線感応性重合体組成物。

請求項（抜粋）：

一般式[1]【化1】(R1 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)で表される構造単位を主成分とし、R2 の10〜100モル%が脂肪族炭化水素を含むものであるポリマーを含有することを特徴とする化学線感応性重合体組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R