特許

J-GLOBAL ID：200903044550695823

ガスレーザ発振装置

発明者： 佐藤 三郎 ,  松田 昌康
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-096343
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291664
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ガスレーザ媒質の温度及びガスレーザ管の周囲温度の変化に対し、安定したレーザ出力エネルギーに維持する。【構成】ピーキングコンデンサ(10)の温度が測温素子(20)により検出され、この検出温度に基づいて、容量可変手段(22)によって主コンデンサ(3) に接続されるコンデンサ回路(21)の静電容量が、主コンデンサ(3) 及びコンデンサ回路(21)の合成静電容量とピーキングコンデンサ(10)との静電容量比を一定とする値に可変される。これにより、ピーキングコンデンサ(10)の静電容量がガスレーザ媒質の温度及びガスレーザ管(5) の周囲温度により変化しても、レーザ出力エネルギーは安定に維持される。

請求項（抜粋）：

主コンデンサに充電された電気エネルギーを放電してガスレーザ管内の各主電極に接続されたピーキングコンデンサに供給し、このピーキングコンデンサの充電電圧を前記各主電極間に印加して主放電を発生させ、ガスレーザ光を出力するガスレーザ発振装置において、前記ピーキングコンデンサの温度を検出する測温素子と、前記主コンデンサに対して接続されるコンデンサ回路と、前記主コンデンサに接続される前記コンデンサ回路の静電容量を、前記測温素子により検出された温度に基づいて、前記主コンデンサ及び前記コンデンサ回路の合成静電容量と前記ピーキングコンデンサとの静電容量比を一定とする値に可変する容量可変手段とを具備したことを特徴とするガスレーザ発振装置。