特許
J-GLOBAL ID：200903044550917907
真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津田 直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343155
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172091
出願日： 1991年12月25日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：
【要約】【目的】 外周面に羽根5を彫設状に設けて出っ張りのないストレート円筒に仕上げたロータ2の形状を生かして、渦流ポンプ段での排気速度を向上する。【構成】 ロータ2の外周部に、上下段に位置する凹入部4,4間を連通し、上段側の排気流路3から下段側の排気流路3に向けて圧縮を行う傾斜角度20度前後の断面矩形状のネジ溝7を多数本設け、該ネジ溝7による排気と排気流路3の周方向に沿う羽根5による旋回状の排気との併用により排気速度を向上した。
請求項（抜粋）：
円筒形のステータ1と、このステータ1の内周面に外周面を近接させるロータ2とを備え、前記ステータ1の内周部に円弧状に沿う排気流路3を複数段設けると共に、前記ロータ2の外周部に多数の凹入部4を周設して、相隣合う凹入部4,4の間に前記排気流路3に臨む羽根5を複数段設けた真空ポンプにおいて、前記ロータ2の外周部に、上下段に位置する凹入部4,4間を傾斜状に連通し、上段側の排気流路3から下段側の排気流路3に向けて圧縮を行うネジ溝7を多数本設けていることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (2件)：
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