特許
J-GLOBAL ID：200903044564395490
ウェハのエッチング処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035222
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252127
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 エッチング能力がある間は薬液を無駄無く有効に使用でき、かつ薬液のエッチング能力が低下する前に液交換を行えるウェハのエッチング処理方法を提供する。【構成】 エッチング開始より終了までのエッチング時間と、エッチングされたウェハ膜厚とによって算出されるエッチングレートが、予め設定した、薬液のエッチング能力が低下する限界の下限エッチングレート以下になった時に、エッチング処理を停止して薬液を交換する工程を含んでなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数のウェハの各皮膜を薬液によって個々にエッチングするウェハのエッチング処理方法において、エッチング開始より終了までのエッチング時間と、エッチングされたウェハ膜厚とによって算出されるエッチングレートを各ウェハ毎に算出する工程と、前記算出したエッチングレートが、予め設定した、前記薬液のエッチング能力が低下する限界の下限エッチングレート以下になった時に、エッチング処理を停止して前記薬液を交換する工程と、を含んでなることを特徴とするウェハのエッチング処理方法。
IPC (2件)：
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