特許
J-GLOBAL ID：200903044566353132
光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-283766
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121854
出願日： 1997年10月16日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 容易にスペクトル幅の狭帯域化、絶対波長安定化を図ることができる長寿命のレーザ光源装置を提供すること。【解決手段】 パルス発振し発振波長が狭帯域である固体レーザ光源と波長変換手段から構成される第1のコヒーレント光源1aからガスレーザ光源2と同じ波長のシード光を発生させ、これを用いてガスレーザ光源2のインジェクション・シードを行う。あるいは、第1、第2のコヒーレント光源1a,1bを用い、和周波発生手段1cによりコヒーレント光源1a,1bが放出する第1、第2のコヒーレント光の波長の和周波光を作ることによりガスレーザ光源2と同じ波長のシード光を発生させ、ガスレーザ光源2のインジェクション・シードを行う。上記第1、第2のコヒーレント光源1a,1bは原子の吸収セルなどを用いた波長安定化手段3a,3bにより波長安定化される。
請求項（抜粋）：
パルス発振し発振波長が狭帯域である固体レーザ光源と、波長変換手段から構成されるコヒーレント光源と、上記コヒーレント光源から放出される光をシード光として注入同期されて動作し、発振波長が250nm以下のガスレーザ装置とから構成される光源装置であって、上記コヒーレント光源における光路中のパルス光の内、上記シード光パルスの波長より長いパルス光を波長を原子もしくは分子の吸収スペクトルあるいは光ガルバノスペクトルを基準として安定化する安定化手段を備えていることを特徴とする光源装置。
IPC (3件)：
H01S 3/134
, G02F 1/39
, H01S 3/16
H01S 3/134
, G02F 1/39
, H01S 3/16
