特許

J-GLOBAL ID：200903044568560925

走査型電子顕微鏡

発明者： 穴澤 紀道 ,  中村 直行 ,  山藤 泉
出願人/特許権者： 株式会社ホロン
代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016180
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214586
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 1次電子ビームの軸を偏向コイルにより若干ずらしておき、試料から放出されて逆方向に走行する2次電子をこの軸をずらした部分で逆方向に曲げた位置に設けた2次電子検出器によって検出し、2次電子情報の損失を最低限に抑えて明るい高S/N比の2次電子像の観察を実現する。【解決手段】 対物レンズ2と、試料1から放出されて対物レンズを通り抜けて加速された2次電子16を検出する第1の2次電子検出器9と、第1の2次電子検出器より電子銃側4に設け、電子銃からの1次電子ビーム5を偏向して対物レンズを介して試料上に細い電子ビームとして投影させる磁界型のビーム偏向器17,18と、ビーム偏向器18より電子銃側に設け、ビーム偏向器によって2次電子16を1次電子19と逆方向に偏向する位置に配置して検出する第2の2次電子検出器10とを備える。

請求項（抜粋）：

1次電子ビームを試料表面に走査して発生する2次電子を検出して画像を表示する走査型電子顕微鏡において、1次電子を結像して試料上に細い電子ビームとして投影する対物レンズと、この対物レンズの試料と反対側であって、上記1次電子ビームの透過する孔を持ち、試料から放出されて上記対物レンズを通り抜けて加速された2次電子を検出する第1の2次電子検出器と、この第1の2次電子検出器より電子銃側に設け、当該電子銃からの1次電子ビームを偏向して上記対物レンズを介して試料上に細い電子ビームとして投影させる磁界型のビーム偏向器と、このビーム偏向器より電子銃側に設け、当該ビーム偏向器によって試料から放出され対物レンズを通り抜けて加速された2次電子について、1次電子と逆方向に偏向される位置に配置して検出する第2の2次電子検出器とを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/28 B