特許
J-GLOBAL ID：200903044571277916
圧電振動子及びその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (1件)：
河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-260886
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079860
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 振動子に恒弾性金属を用いる圧電振動ジャイロの場合、この振動子の側面に板状の駆動用圧電素子や検出用圧電素子を接着剤により接合しなければならないため、接着工程の作業性の悪化によって振動子1の小型化が制限される。また、振動が接着剤層によって振動減衰されるので、感度も低下する。【解決手段】 振動子1の駆動面1eと検出面1fに水熱合成法によって直接圧電性膜を形成し、これを駆動用圧電素子2と検出用圧電素子3とする。
請求項（抜粋）：
弾性金属からなる振動子の表面に、水熱合成法によって成膜された圧電性膜からなる圧電素子を備えたことを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
