特許
J-GLOBAL ID:200903044575887174

太陽電池用シリコンの精製方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小杉 佳男 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-077971
公開番号(公開出願番号):特開平10-273311
出願日: 1997年03月28日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】本発明は、1回凝固法による太陽電池用シリコンの精製を、従来より短時間に、且つ安価に実施する技術を提供することを目的としている。【解決手段】金属シリコンから真空精錬でPを揮発除去し、次いで酸化精錬でB,Cを除去した後、脱O及び凝固精製を行って金属不純物元素を除去する太陽電池用シリコンの精製方法において、前記金属シリコンの加熱をプラズマ・アーク又はプラズマ・ジェットで行い、前記真空精錬と酸化精錬を順次行う。
請求項(抜粋):
金属シリコンから真空精錬でPを揮発除去し、次いで酸化精錬でB、Cを除去した後、脱O及び凝固精製を行ってFe、Al、Ti、Caを除去する太陽電池用シリコンの精製方法において、前記金属シリコンの加熱をプラズマ・アーク又はプラズマ・ジェットで行い、前記真空精錬と酸化精錬を順次行うことを特徴とする太陽電池用シリコンの精製方法。

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