特許

J-GLOBAL ID：200903044576456495

化学線感応性重合体組成物

発明者： 吉村 利夫 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-259683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-114185
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体と光アミン発生剤(特定の化合物と光アミン発生助剤とからなる)のとを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物に関する。【効果】本発明によると、有機溶媒を用いず、アルカリ水溶液などで現像できる新規な感光性ポリイミドを得ることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式[1]で表される構造単位を有するポリマー、下記一般式[2]で表される化合物、および電子供与性の光アミン発生助剤とを含むことを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【化1】(R1 は、少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は、少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または炭素数1〜20の有機基を表す。nは1または2である。)(R4 -OCO-NH)m-R5 [2][R4 は、分子中、少なくとも1個は、下記一般式[3]、【化2】(R6 は、水素または炭素数1〜10の有機基を表す。lは0〜3の整数である。)で表される基であり、それ以外は、炭素数1〜20の有機基を表す。R5 は炭素数1以上の1〜4価の有機基を表す。mは1〜4の整数である。]

IPC (10件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/03 ,  C08K 5/17 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭60-037550
  
• 特開平1-164938
  
• 化学線感応性重合体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-328032   出願人：東レ株式会社