特許
J-GLOBAL ID：200903044582582451
レーザ照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015230
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226559
出願日： 1994年02月09日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 ビームを所定の形状・大きさにした後でも均一なエネルギ強度分布を持ったレーザ光を照射する。【構成】 レーザ光源1と、レーザ光源1から出力されたレーザ光1aの位相を乱すフィルタ14及び/又は光ファイバと、レーザ光1aを小面積のビームに分解した後重ね合わせて所定の形状のビームに形成するビーム形成手段13とを備え、レーザ光1aの位相を乱すことによりビームを重ね合わせても回折格子を生じないようにした。
請求項（抜粋）：
レーザ光源と、レーザ光源から出力されたレーザ光の位相を乱す位相攪乱手段と、レーザ光を小面積のビームに分解した後重ね合わせて所定の形状のビームに形成するビーム形成手段とを備えたことを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (2件)：
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