特許

J-GLOBAL ID：200903044584594244

検査用端子装置及びその製造方法

発明者： 飯田 勉
出願人/特許権者： 日新工機株式会社
代理人 (1件)： 三枝 弘明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109006
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304772
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 被検査体の測定点が微細ピッチで配列されている場合にも容易に対応できるとともに、接触抵抗を安定化させることができ、測定誤差や測定不良を低減することができる新規の検査用端子装置を提供する。【解決手段】 検査用端子装置20は、磁性体であり且つ導電体である複数の接触端子21aが非磁性体であり且つ非導電体である支持体21bの板面上に分散形成されてなる端子基板21と、弾性を有する樹脂成形体である異方性導電ゴムシート22と、磁性体であり且つ導電体である複数の接触端子23aが非磁性体であり且つ非導電体である支持体21bの板面上に分散形成されてなる端子基板23とが相互に積層された構造を有する。ここで、一対の端子基板21,23と異方性導電ゴムシート22とは、異方性導電ゴムシートを硬化させる際に一体成形されているため、相互に密着若しくは固着されている。

請求項（抜粋）：

磁性体であり且つ導電体である複数の接触端子及び該接触端子を貫通させた状態で支持する非磁性体であり且つ非導電体である支持体からなる端子基板と、該端子基板の一方の表面上に一体成形された、磁性体である導電粒子を含む、弾性を有する樹脂成形体とを備え、該樹脂成形体には、前記接触端子に接触するとともに、前記樹脂成形体の反対側の表面まで貫通する、前記導電粒子が密に配置された導通領域が形成され、該導通領域間には前記導電粒子が疎に配置された非導通領域が形成されていることを特徴とする検査用端子装置。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01R 43/00

FI (4件)：

G01R 1/073 F ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  H01R 43/00 Z

Fターム (22件)：

2G003AA00 ,  2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG07 ,  2G003AG12 ,  2G011AA16 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10 ,  4M106DD30 ,  5E051GA09