特許

J-GLOBAL ID：200903044588981706

真空バルブ

発明者： 渡辺 道男 ,  乙部 清文
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165998
公開番号（公開出願番号）：特開平6-012946
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造で、機械的強固かつ遮断性能を向上させた真空バルブを得る。【構成】 真空バルブのコイル電極9において、電気接続部9dを除いた主電極8側の表面に、酸化物系絶縁セラミックスを施し、その後に金属被膜を施して主電極8とコイル電極9を接合する。

請求項（抜粋）：

真空容器と、この真空容器内に接離自在に配設された一対の電極と、この一対の電極の背部に接続部を介して接続され、前記電極間に軸方向磁界を発生させるコイル電極とを有する真空バルブにおいて、前記接続部を除く前記電極とコイル電極の対向表面の少なくとも一方に、酸化物系絶縁セラミックスを施した後に金属被膜を施して前記電極とコイル電極を接合したことを特徴とする真空バルブ。