塗布状態検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-409895
公開番号（公開出願番号）：特開2005-172488
出願日： 2003年12月09日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】赤外線熱カメラを用いることにより、塗布領域全域を検査することができ、しかも装置の構成を複雑化することなく、安価に製造することができる塗布状態検査装置を提供する。【解決手段】塗布剤2を被塗布材1に塗布するためのノズル3の位置を特定する制御装置5と、前記被塗布材上に塗布された塗布剤の塗布位置周辺の熱線画像を撮像する赤外線熱カメラ6と、前記赤外線熱カメラ6によって撮像された画像のうち前記ノズル位置特定情報に基づいて、前記ノズルの進行方向に対して所定距離前方と所定距離後方の所定範囲の画像を取り込む画像処理装置7とを備え、前記被塗布材1の同一位置における前記ノズル3の通過前と通過後の前記画像を比較し、前記比較結果に基づき、塗布剤の塗布状態の良否を判断する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被塗布材に塗布された揮発性溶剤を含有する塗布剤の塗布状態の良否を判定する塗布状態検査装置において、前記塗布剤を前記被塗布材に塗布する塗布ノズルの位置を特定するノズル位置特定手段と、前記塗布剤の塗布領域の画像を撮像する熱線画像撮像手段と、前記ノズル位置特定手段からのノズル位置情報に基づいて、前記熱線画像撮像手段によって撮像された画像から前記塗布ノズルの進行方向に対して所定距離前方と所定距離後方の所定範囲の画像を取込むと共に、前記被塗布材の同一位置における前記塗布ノズルの通過前と通過後の前記画像を比較する画像処理手段とを備え、前記比較結果に基づき、塗布剤の塗布状態の良否を判断することを特徴とする塗布状態検査装置。

IPC (4件)：

G01N25/18 , B05C11/00 , G01J5/48 , G01N21/84

FI (4件)：

G01N25/18 J , B05C11/00 , G01J5/48 A , G01N21/84 Z

Fターム (40件)：

2G040AA00 , 2G040AB08 , 2G040BA25 , 2G040CA03 , 2G040CA11 , 2G040CA23 , 2G040DA06 , 2G040HA02 , 2G040HA05 , 2G040HA08 , 2G051AA85 , 2G051AB12 , 2G051BA06 , 2G051CA20 , 2G051ED01 , 2G051ED08 , 2G066AC20 , 2G066BA60 , 2G066BC15 , 2G066BC21 , 2G066CA02 , 2G066CA04 , 4D075AC08 , 4D075AC93 , 4D075AC96 , 4D075CA12 , 4D075CA13 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DA34 , 4D075DB13 , 4D075DC13 , 4D075EA07 , 4D075EA35 , 4D075EA41 , 4F042AA02 , 4F042AA09 , 4F042AA27 , 4F042AB00 , 4F042DH09

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公平8-11210号公報(第2頁第3欄第16行〜同欄第33行)
実公平7-26692号公報(第2頁第3欄第41行〜同頁第4欄第30行)

審査官引用 (3件)

特公平8-011210
特開平1-156650
特開昭61-132848

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