特許
J-GLOBAL ID：200903044592069329
電子部品の観察装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318188
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164199
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 移載ヘッドのノズルに真空吸着されたチップに上方から光を照射して下方のカメラによりチップのシルエットを観察するにあたり、チップの下面への光の回り込みを解消してチップの正しいシルエットを観察できる観察装置を提供する。【構成】 移載ヘッド1のノズル2に真空吸着された電子部品Pの上方に位置する光透過板3と、この光透過板3に光を照射する光源25とを備え、この光透過板3から光を下方へ漏光させて電子部品Pのシルエットをカメラ8で観察する観察装置において、光透過板3の下部にカメラ8の光軸とほぼ平行な光イのみを下方へ透過させるフィルター26を設けることにより、光透過板3から漏光した一部の光が電子部品Pの下面へ回り込まないようにした。
請求項（抜粋）：
電子部品を真空吸着するノズルを備え、電子部品を前記ノズルに真空吸着して基板に移送搭載する移載ヘッドと、前記ノズルに真空吸着された電子部品の上方から電子部品へ向って漏光する光透過板と、光透過板へ光を照射する光源と、前記電子部品のシルエットを下方から観察するカメラと、前記光透過板の下部に配設されて前記カメラの光軸とほぼ平行な光のみを下方へ透過させるフィルターとを備えたことを特徴とする電子部品の観察装置。
IPC (3件)：
H05K 13/08
, G01N 21/21
, G01N 21/84
