特許

J-GLOBAL ID：200903044593100483

透明導電膜形成用ITOタ-ゲットの製造方法

発明者： 高梨 昌二 ,  阿部 能之 ,  栗原 好治 ,  高塚 裕二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241434
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064767
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】 太陽電池、液晶デスプレイ(LCD)等の透明導電作製用大型ITO焼結体スパッタリングタ-ゲットとして有用な、高密度で密度ムラのない均一なITO焼結体を製造する方法を提供する。【解決手段】 酸化インジウムを主として含む原料粉末と分散媒とを混合したスラリ-に、増粘剤およびpH調整剤を加えて、スラリ-粘度を2000mPa・s以下、200mPa・s以上とし、泥漿鋳込みで成形体を得て、該成形体を焼結する透明導電膜用ITOタ-ゲットの製造方法。

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分として含む原料粉末と分散媒とを混合したスラリ-を鋳込んで成形体を得て、該成形体を焼結する透明導電膜用ITOタ-ゲットの製造方法において、スラリ-濃度を60〜69重量%にしたスラリ-に増粘剤を加えて、スラリ-粘度を2000mPa・s以下、200mPa・s以上とすることを特徴とする透明導電膜用ITOタ-ゲットの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  C04B 35/457 ,  C04B 35/622 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  C04B 35/00 R ,  C04B 35/00 D ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 H

Fターム (10件)：

4G030AA34 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030GA01 ,  4G030GA20 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC02 ,  5F051FA04