特許

J-GLOBAL ID：200903044595218031

ファブリペローフィルタ

発明者： 鈴木 健太郎 ,  岸 直輝 ,  野呂 誠 ,  原 仁
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-009957
公開番号（公開出願番号）：特開2002-214429
出願日： 2001年01月18日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：

【要約】【課題】 支持部のたわみを防止して犠牲層の厚さに相当する初期ギャップの設計値を確保することができるファブリペローフィルタを提供すること。【解決手段】 基板上に形成される固定鏡と、この固定鏡上に縦断面形状を略台形とする犠牲層を介して形成されこの犠牲層を除去することにより前記略台形の犠牲層の非平行部上に形成される支持部により支持されて前記固定鏡との間にギャップを形成した状態で前記固定鏡に対向配置される可動鏡とを有し、前記可動鏡を前記固定鏡に対して変位させることにより前記ギャップの長さを可変としたファブリペローフィルタにおいて、前記可動鏡の前記支持部上に前記支持部を補強する補強膜を設けたことを特徴とするファブリペローフィルタ。

請求項（抜粋）：

基板上に形成される固定鏡と、この固定鏡上に縦断面形状を略台形とする犠牲層を介して形成されこの犠牲層を除去することにより前記略台形の犠牲層の非平行部上に形成される支持部により支持されて前記固定鏡との間にギャップを形成した状態で前記固定鏡に対向配置される可動鏡とを有し、前記可動鏡を前記固定鏡に対して変位させることにより前記ギャップの長さを可変としたファブリペローフィルタにおいて、前記可動鏡の前記支持部上に前記支持部を補強する補強膜を設けたことを特徴とするファブリペローフィルタ。

Fターム (7件)：

2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA30 ,  2H048GA51 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61