特許
J-GLOBAL ID:200903044611368375

セラミックスグリーンシート積層体の切断方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 茂見 穰
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-163009
公開番号(公開出願番号):特開平8-001588
出願日: 1994年06月22日
公開日(公表日): 1996年01月09日
要約:
【要約】【目的】 セラミックスグリーンシート積層体を高精度で、能率良く、綺麗に切断する。【構成】 セラミックスグリーンシートを多数枚積層し加圧一体化した積層体10を、ヒートプレート12上に載置すると共に、該ヒートプレートとほぼ同温度になっている大熱容量の重量物14を前記積層体の上面に載せて、積層体に荷重をかけつつ上下両面から積層体全体を均一に加熱する。次いで保温機能を有する切断ステージに搬送し、切断刃で押し切る。大熱容量の重量物に代えて、上部にもヒートプレートを用いてもよい。重量が不足する場合には、重りの載せてもよいし、機械的に荷重をかける方法もある。加熱温度は、セラミックスグリーンシート中に混入している有機バインダが可塑化する程度の温度に設定する。
請求項(抜粋):
セラミックスグリーンシートを多数枚積層し加圧一体化した積層体を、ヒートプレート上に載置すると共に、該ヒートプレートとほぼ同温度になっている大熱容量の重量物を前記積層体の上面に載せて、積層体に荷重をかけつつ上下両面から積層体全体を均一に加熱し、次いで保温機能を有する切断ステージに搬送し、切断刃で押し切ることを特徴とするセラミックスグリーンシート積層体の切断方法。
IPC (7件):
B26D 7/10 ,  B26D 7/06 ,  B28B 11/14 ,  H01G 4/12 364 ,  H01G 13/00 391 ,  H01L 41/24 ,  H05K 3/46
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平4-176594

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