集積化された電子装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-060320
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070416
出願日： 1997年03月14日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】集積化された共振器を伴なうタイムベースをそなえた電子装置を高品質かつ低コストでうることを目的とする。【解決手段】上記電子装置において、特に共振器(4)が、他の集積回路(3),(5)などとは別に、基板(2)のうちの減少された厚みを有する所定の表面部分内に切り出された本体と、該本体の少なくとも一部上にデポジットされた圧電層及び該圧電層上にデポジットされた電極形成用の金属層とで構成される。

請求項（抜粋）：

単結晶のシリコン基板(2)と、共振器、該共振器を振動させるメンテナンス回路、及び周波数分割チェーンを含む発振器を有する集積回路(3)とをそなえており、該メンテナンス回路は該分割チェーンとともにCMOS回路で構成されている集積化された電子装置(1)であって、該共振器は、該基板(2)のうちの減少された厚みを有する所定範囲の表面部分(14)内で切り出された本体と、該本体の少なくとも一部(6)上にデポジットされた圧電材料の薄層(10)と、電極を形成するように該圧電層(10)上にデポジットされた薄い金属層(11)とで形成された、集積化された共振器(4)であることを特徴とする集積化された電子装置。

IPC (4件)：

H03B 5/32 , H01L 41/09 , H01L 49/00 , H03H 9/17

FI (4件)：

H03B 5/32 H , H01L 49/00 Z , H03H 9/17 F , H01L 41/08 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-096005
特開昭64-086701
特開昭62-169509

審査官引用 (3件)

特開平3-096005
特開昭64-086701
特開昭62-169509

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