特許
J-GLOBAL ID：200903044616468530
タングステンのエッチング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355214
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175170
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、エッチングレートが速く、タングステンのエッチング表面が平滑で内部にシームを生じないタングステンのエッチング方法を提供する。【構成】 エッチング工程を2つのステップに分け、第1のステップではSF6 を主体としたCl2 、O2 を含む混合ガスを、第2のステップではCl2 を主体としたSF6 、O2 を含む混合ガスをプロセスガスとして使用する。これにより、第1のステップではエッチングレートが速く、かつタングステン16内部にシームが生ぜず、第2のステップではタングステン16のエッチング表面が平滑となり、反応生成物が容易に蒸発するので処理が円滑に進む。また両ステップともO2 を含むので、第1及び第2のステップの切り換えの再現性が高まる。
請求項（抜粋）：
基層の上に形成したタングステンの層をエッチングするタングステンのエッチング方法において、エッチングの工程を2つのステップに分け、第1のステップではSF6 を主体とした混合ガスをプロセスガスとして使用し、第2のステップではCl2 を主体とした混合ガスをプロセスガスとして使用することを特徴とするタングステンのエッチング方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
