中空セラミックスプレート及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：溝上満好 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-144091
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323256
出願日： 1996年06月06日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】ウェハーを表面加工する際におけるプレートの撓み等の、ウェハー加工精度の低下を招く剛性の低下を防止しつつ、取扱いが容易なように重量を軽減する。【解決手段】天板部12及び底板部13と、これら両部における外周部を接続する外周壁部14とで一体的に形成され、その内部を中空と成し、その中空部16の所定位置に変形防止用の柱部材15aを介設する。

請求項（抜粋）：

天板部及び底板部と、これら両部における外周部を接続する外周壁部とで一体的に形成され、その内部を中空と成したことを特徴とする中空セラミックスプレート。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 E , H01L 21/304 321 H

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