特許

J-GLOBAL ID：200903044629156405

超高真空機器用ステンレス鋼部材およびその製造法

発明者： 遠山 晃 ,  宮内 昌明 ,  山田 武海 ,  大橋 雅夫
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 白川 一一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059524
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】 ベーキング処理に要する時間を短縮し、あるいは省略できる超高真空機器用ステンレス鋼部材を提供する。繰り返しの大気開放に対してもその脱離特性が持続されることから、トータル的な省力化を図る。鋼中ガス成分の拡散放出に対してもバリヤー効果を有するから最終到達圧力を低下させる。【構成】 ステンレス鋼中のCrとMoの含有量(単位:wt%)が〔Cr〕+3×〔Mo〕≧18を満足するステンレス鋼部材において、その表層を20〜150ÅのCr2O3 を主体とする酸化皮膜を被覆する。

請求項（抜粋）：

ステンレス鋼中のCrとMoの含有量(単位:wt%)が〔Cr〕+3×〔Mo〕≧18を満足するステンレス鋼部材において、その表層を20〜150ÅのCr2O3 を主体とする酸化皮膜を被覆したことを特徴とする超高真空機器用ステンレス鋼部材。

IPC (5件)：

C23C 8/14 ,  C22C 38/00 302 ,  C22C 38/44 ,  C23C 26/00 ,  H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭50-091543
  
• 特開昭54-052636
  
• 特開平4-183846
  
• 特開平1-198436
  
• 特開平3-085358