特許
J-GLOBAL ID：200903044629466765
移動体の停止位置ズレ量検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-338530
公開番号（公開出願番号）：特開平11-175150
出願日： 1997年12月09日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 任意のパターンが形成された床面上において,外乱による影響を防止して,移動体の位置補正を高精度で行うことが可能な移動体の停止位置ズレ量検出装置を提供する。【解決手段】 任意のパターンと所定の認識マークとが形成されたパンチング床等の床面上を移動する移動体を所定位置に停止させて上記床面の画像を撮像し,位置データを取得する。多数の位置データの組を用いて位置・姿勢のズレを求め,高精度の計測を可能とし,また,外乱光などの影響によって一部を認識できなかった場合でも問題なく処理できるようにする。
請求項（抜粋）：
任意のパターンと所定の認識マークとが形成された床面上を移動する移動体を所定位置に停止させて上記床面の画像を撮像した移動作業時撮像画像と,予め上記移動体を所定の基準停止位置に停止させて上記床面の画像を撮像した基準撮像画像とのズレを,それぞれの撮像画像上の上記任意のパターンの上記認識マークを基準とした比較により求め,上記ズレに基づいて上記移動体の停止位置のズレ量を検出する移動体の停止位置ズレ量検出装置において,上記基準撮像画像から,上記任意のパターンを構成する複数の形態部と上記認識マークとの上記基準撮像画像上での位置データを取得する基準位置データ取得手段と,上記移動作業時撮像画像から,上記複数の形態部と上記認識マークとの上記移動作業時撮像画像上での位置データを取得する移動作業時位置データ取得手段と,上記複数の形態部に,上記各撮像画像上でそれぞれ上記認識マークを基準とした共通の符号付けを行う符号付け手段と,上記符号付け手段で得られた上記複数の形態部の符号に基づいて,上記各撮像画像間での上記複数の形態部の1対1の対応付けを行う対応付け手段と,上記対応付け手段で対応付けされた上記複数の形態部の各組について,上記基準位置データ取得手段及び上記移動作業時位置データ取得手段により得られた位置データの差を求め,上記各組における上記位置データの差に基づいて上記各撮像画像間のズレを求めるズレ算出手段とを具備してなることを特徴とする移動体の停止位置ズレ量検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G05D 1/02 J
, G05D 1/02 K
, H01L 21/68 A
