特許

J-GLOBAL ID：200903044632780365

透明導電膜の製造方法

発明者： 伊藤 昌宏
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294810
公開番号（公開出願番号）：特開平6-145988
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 従来より透明性が良く、面積抵抗値の低い透明導電膜の製造方法の提供を目的とする。【構成】 塩化錫のアルコール溶液を加熱された気化室1の一方の入口5から導入し、キャリアガスを気化室の他方の入口6から導入して気化反応物を製造し、その気化反応物を気化室の出口7から送りだして加熱された基板3の表面に送給する。

請求項（抜粋）：

塩化錫のアルコール溶液を加熱された気化室の一方の入口から導入し、キャリアガスを気化室の他方の入口から導入して気化反応物を製造し、その気化反応物を気化室の出口から送りだして加熱された基板の表面に送給する透明導電膜の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 31/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-145350
  
• 特開平2-258691
  
• 特開平2-214536