特許

J-GLOBAL ID：200903044635363242

位置決めテーブル装置

発明者： 大石 伸司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066993
公開番号（公開出願番号）：特開平6-284785
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 相切り換え時のトルクの低下を極力小さく抑えることができる。【構成】 ガイド2にはテーブル天板1が案内部12を介してリニアモータコイル4を挟持するように取り付けられており、テーブル天板1はガイド2によってコイルの並ぶ方向に摺動自在に案内される。ガイド2側方にはテーブル天板1の位置を検出する位置検出器6が設けられている。位置検出器6にはテーブルの位置信号を得るカウンタユニット7が接続され、カウンタユニット7には各コイル相を切り換えるための相切り換えコントローラ9が接続されている。相切り換えコントローラ9には、次のコイル相へ通電してからの時間を計測する時間計測手段13が接続されている。

請求項（抜粋）：

テーブルの位置を検出する位置検出手段と、該テーブルの位置に応じてN個のコイルに選択的に通電される多相型のモータとを備えた位置決めテーブル装置において、次のコイルに通電した時からの時間を計測する時間計測手段が設けられたことを特徴とする位置決めテーブル装置。