電界検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-246106
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089940
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】高感度な電界検出が可能な電界検出装置を実現する。【解決手段】電界により物理的状態が変化する電気光学結晶を有する電気光学素子を集積回路基板に近接して配置し、電気光学素子からの反射光または透過光の光量変化を検出することにより、反射集積回路の電極からの電界による前記物理的状態の変化を光学的に測定する電界検出装置において、電気光学素子を、電界によりその屈折率が変化する電気光学結晶と、この電気光学結晶の上面に接合され電気光学結晶への入射光が電気光学結晶の下面の境界面において臨界角で全反射するように入射光を導くと共に、その全反射した光が入射方向に戻ってくるように導くための部材から構成する。

請求項（抜粋）：

電界により物理的状態が変化する電気光学結晶を有する電気光学素子を集積回路基板に近接して配置し、電気光学素子からの反射光または透過光の光量変化を検出することにより、集積回路の電極からの電界による前記物理的状態の変化を光学的に測定する電界検出装置において、前記電気光学素子は、電界によりその屈折率が変化する電気光学結晶と、この電気光学結晶の上面に接合され電気光学結晶への入射光が電気光学結晶の下面の境界面において臨界角で全反射するように入射光を導くと共に、その全反射した光が入射方向に戻ってくるように導くための部材から構成されたことを特徴とする電界検出装置。

IPC (5件)：

G01R 19/00 , G01R 15/24 , G01R 29/12 , G01R 31/302 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 19/00 V , G01R 29/12 F , H01L 21/66 C , G01R 15/07 C , G01R 31/28 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

表面電位計測センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-326959 出願人：横河電機株式会社
電気光学プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-242132 出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー

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