特許
J-GLOBAL ID:200903044639188658

塗布液送液方法及び塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-078036
公開番号(公開出願番号):特開2002-273315
出願日: 2001年03月19日
公開日(公表日): 2002年09月24日
要約:
【要約】【課題】 本発明の目的は、塗膜上の欠陥発生を防止するため、塗布液中の異物を濾過しつつ送液する方法において、塗布液を精密に濾過でき、かつ、目詰まり等による濾材の交換が少なく長時間連続塗布が可能な塗布液送液方法及び塗布装置を提供することにある。【解決手段】 塗布液を、濾過装置Aを通過させた後、一旦バッファタンクに受け、その後濾過装置Bを通過させコーターへ送液する塗布液送液方法であって、濾過装置Aが濾過装置Bより濾過精度が高いことを特徴とする塗布液送液方法。
請求項(抜粋):
塗布液を、濾過装置Aを通過させた後、一旦バッファタンクに受け、その後濾過装置Bを通過させコーターへ送液する塗布液送液方法であって、濾過装置Aが濾過装置Bより濾過精度が高いことを特徴とする塗布液送液方法。
IPC (2件):
B05C 11/10 ,  B05D 3/00
FI (2件):
B05C 11/10 ,  B05D 3/00 B
Fターム (32件):
4D075AC02 ,  4D075AC28 ,  4D075AC56 ,  4D075AC72 ,  4D075AC84 ,  4D075AC91 ,  4D075BB91X ,  4D075BB99X ,  4D075CA48 ,  4D075CA50 ,  4D075DA04 ,  4D075DB01 ,  4D075DB07 ,  4D075DB18 ,  4D075DB31 ,  4D075DB36 ,  4D075DC27 ,  4D075DC28 ,  4D075EA02 ,  4D075EA05 ,  4D075EA06 ,  4D075EA10 ,  4D075EB01 ,  4D075EB07 ,  4D075EB13 ,  4F042AA22 ,  4F042CB02 ,  4F042CB13 ,  4F042CB18 ,  4F042CB25 ,  4F042DD12 ,  4F042ED05

前のページに戻る