特許

J-GLOBAL ID：200903044642132248

接触判定方法

発明者： 立花 宣浩
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280066
公開番号（公開出願番号）：特開平7-111284
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：

【要約】【目的】 正確でかつ容易に接触検査を行える接触判定方法を提供すること。【構成】 取り込んだ全体画像に対してステップ1b〜1dでカラー前処理を行いステップ1fで二値化処理を行う。そしてステップ1iにて第1画像または第2画像の一の符号から成る1画素を抽出しその符号を他の符号に反転させるとともに、その1画素に隣接する8画素のうち符号が一の符号である場合にはそれを他の符号に反転させる隣接符号反転処理を行い、さらに反転された画素に対する隣接符号反転処理を反転が成されなくなるまで行い、得られた処理後画像内における一の符号の有無をステップ1jにて判断し、有る場合にはステップ1kで接触なしと、また無い場合にはステップ1mにて接触ありと判定する。

請求項（抜粋）：

光学的に取り込んだ全体画像のうち対象となる第1画像と第2画像とが接触しているかどうかを判定する方法において、先ず、取り込んだ前記全体画像に対して二値化処理を施し前記第1画像および第2画像を一の符号にて表す工程と、前記第1画像および第2画像のうちいずれかの画像中の前記一の符号から成る1画素を抽出しその符号を他の符号に反転させるとともに、該1画素に隣接する8画素のうち符号が該一の符号である場合にはそれを他の符号に反転させる隣接符号反転処理を行う工程と、さらに、前記他の符号への反転が成された画素に隣接する8画素に対して前記隣接符号反転処理を前記反転が成されなくなるまで繰り返して行い処理後画像を得る工程と、前記処理後画像内に前記一の符号から成る画素が存在する場合には前記第1画像と前記第2画像とが接触していないと判定し、該処理後画像内に該一の符号から成る画素が存在しない場合には該第1画像と第2画像とが接触していると判定する工程とから成ることを特徴とする接触判定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/60 321

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-073205
  
• 特開平3-183148
  
• 特開平2-242405