蒸着フイルムの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033331
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065644
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】酸化マグネシウム等の金属酸化物をプラスチックフィルムに真空蒸着するに際し、フィルムの流れ方向に物性のばらつきのない蒸着膜を形成する。【構成】金属酸化物を、窒素ガス等のプラズマ空間を通過させて蒸着する。

請求項（抜粋）：

真空密閉系内で、加熱気化した金属酸化物を、少なくとも水蒸気を含むガスから成るプラズマ空間を通過させた後、基材フィルムに付着させることを特徴とする蒸着フィルムの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/56 , C23C 14/08 , C23C 14/32 , B32B 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

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