特許

J-GLOBAL ID：200903044648075890

液晶表示パネルの検査装置

発明者： 平井 幸廣 ,  工藤 司
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094683
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258157
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 人手による目視検査とテレビカメラを用いる自動検査とを選択的に行うことができるようにすることにある。【解決手段】 液晶表示パネルの検査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、液晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける光路変更手段と、光路変更手段を支持する支持手段とを含む。支持手段は、光路変更手段を、該光路変更手段が液晶表示パネルからの光をテレビカメラに向ける第1の位置と、光路変更手段が液晶表示パネルと第1の位置との間の光路の外となる第2の位置とに選択的に変位可能に支持する。

請求項（抜粋）：

液晶表示パネルを配置する測定ステージと、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像するテレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける光路変更手段と、前記光路変更手段を支持する支持手段とを含み、前記支持手段は、前記光路変更手段を、該光路変更手段が前記液晶表示パネルからの光を前記テレビカメラに向ける第1の位置と、前記光路変更手段が前記液晶表示パネルと前記第1の位置との間の光路の外となる第2の位置とに選択的に変位可能に支持する、液晶表示パネルの検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G01M 11/00 ,  G09F 9/00 352

FI (3件)：

G02F 1/13 101 ,  G01M 11/00 T ,  G09F 9/00 352