特許

J-GLOBAL ID：200903044651350983

走査プローブ顕微鏡

発明者： 中村 直樹
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-071035
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255256
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】 サンプルの表面形状に加えて、サンプル表面とガスとの吸着現象を観察することができる走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーに固定したプローブでサンプル表面を走査し、カンチレバーの変形によりプローブの変位を検出する走査プローブ顕微鏡において、サンプルおよびプローブを浸漬するための液体を収容する容器を備え、(1)プローブを貫通するガス供給孔を経てプローブ先端にガスを供給するガス供給機構を備え、上記容器内に収容した液体中で、プローブ先端に形成したガス突起でサンプル表面を走査するか、または(2)ガス突起を保持するための凹部を先端に有するプローブとを備え、上記容器内に収容した液体中で、プローブ先端の凹部に保持したガス突起でサンプル表面を走査する。

請求項（抜粋）：

カンチレバーに固定したプローブでサンプル表面を走査し、カンチレバーの変形によりプローブの変位を検出する走査プローブ顕微鏡において、サンプルおよびプローブを浸漬するための液体を収容する容器と、プローブを貫通するガス供給孔を経てプローブ先端にガスを供給するガス供給機構とを備え、上記容器内に収容した液体中で、プローブ先端に形成したガス突起でサンプル表面を走査することを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/10 ,  G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 A ,  G01N 13/16 C ,  G01N 13/10 D ,  G12B 1/00 601 D