特許
J-GLOBAL ID：200903044651526305
静電チャック装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266448
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201961
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 ワークピースと電極との間の静電引力によりワークピースを支持する静電チャック装置を提供する。【構成】 静電チャックを構成する要素部品を機械加工し、次に、部分的に陽極酸化を行い、ウェーハに接触しない表面部分に硬性の絶縁表面を形成する。次に、アセンブリを行い、その後、ワークピースに隣接する頂面を機械加工して電極の角に丸みを持たせることで、電極間に放電が起こるのを抑える。
請求項（抜粋）：
静電引力によってワークピースを保持する静電チャックを製造する方法であって、アルミニウム合金で基部電極を機械加工により製作し、第2の電極を受ける電極凹部を上記基部電極の頂面に機械加工して、上記電極凹部が、内側および外側の凹部側面と上記頂面から凹部の深さ分だけ下方の凹部底面とを有し、該凹部底面は第2の曲率半径を持つ第2の遷移領域により上記凹部の両側面に接続しており、それにより、凹部横軸距離を画定するステップと、上記凹部横軸距離に関連させた第2の横軸距離と、上記内側凹部側面に対応させた第2の内側側面、及び、上記の外側凹部側面に対応させた第2の外側側面と、並びに、上記凹部の深さに関連させた第2の厚さとを以て、上記第2の電極を上記凹部に合致するように機械加工するステップと、上記基部電極および上記第2電極が接合される部分の双方を少なくとも酸化アルミニウムの電極厚さで酸化し、それにより、上記基部電極が酸化された凹部横軸距離と酸化された凹部深さとを持つ酸化された凹部を持ち、上記第2の電極が酸化された第2の横軸距離と酸化された第2の厚さを持つようにし、さらに、上記の酸化アルミニウムの厚さと上記凹部横軸距離と上記第2の横軸距離とが互いに関連して、上記基部電極と上記第2の電極がアセンブルされたとき、該両電極の間に内側および外側の凹部ギャップが形成されるようにするステップと、上記の凹部側面および上記第2の電極の側面の少なくとも1つを結合剤でコーティングするステップと、上記基部および第2電極をアセンブルし、熱伝導性の電気絶縁エポキシで接着するステップと、上記基部および第2電極の双方の頂面を機械加工するステップと、上記両頂面の間で、かつ、上記内側の凹部側面と上記第2の内側側面との間の遷移半径を内側の溝の深さまで同時に機械加工するステップと、上記両頂面の間で、かつ、上記外側の凹部側面と上記第2の外側側面との間の遷移半径を外側の溝の深さまで同時に機械加工するステップと、陽極酸化された全ての表面を機械加工で仕上げるステップと、まだ陽極酸化されていない全ての表面を陽極酸化するステップと、上記基部および第2の電極の間の溝を熱伝導性の電気絶縁エポキシで充填するステップと、を有する製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
