特許

J-GLOBAL ID：200903044653446554

圧電共振部品

発明者： 石野 聡 ,  斉藤 毅 ,  萬代 治文
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-308246
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145766
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 組立工程が不要で、高精度かつ高強度であり、小型化が可能であり、また、振動漏れ防止効果に優れた圧電共振部品を提供する。【解決手段】 部品本体22を、積層された複数のセラミック層を含む積層体を一体焼成して得られたもので構成し、その積層方向における中間部に圧電振動子25を構成し、積層方向における両端部がケースとして機能するようにする。圧電振動子25のための励振用内部電極23,24と部品本体22の外表面上に形成される入出力用端子電極31,32との各電気的接続のためにビアホール接続部34,35を採用する。また、圧電振動子25の振動の漏れを防止するための振動漏れ防止用空洞43を圧電振動子25の周囲の少なくとも一部に設ける。

請求項（抜粋）：

積層された複数のセラミック層を含む積層体を一体焼成して得られた部品本体を備え、前記部品本体を構成する前記複数のセラミック層のうち、積層方向における少なくとも中間部に位置するセラミック層は圧電性を有し、積層方向における中間部に位置する前記圧電性を有するセラミック層の少なくとも一部を挟むように、対をなす第1および第2の励振用内部電極が前記部品本体の内部にそれぞれ形成され、それによって、前記第1および第2の励振用内部電極によって挟まれた部分が圧電振動子を構成するようにされるとともに、前記部品本体の積層方向における両端部に位置する前記セラミック層が当該圧電共振部品のケースとして機能するようにされ、前記部品本体の外表面上には、前記第1および第2の励振用内部電極にそれぞれ電気的に接続される第1および第2の入出力用端子電極が形成され、前記部品本体の内部には、前記第1および第2の励振用内部電極と前記第1および第2の入出力用端子電極とをそれぞれ互いに電気的に接続するための第1および第2の入出力用ビアホール接続部が特定の前記セラミック層を貫通するように形成され、さらに、前記部品本体の内部には、前記圧電振動子を積層方向に挟む第1および第2の振動許容用空洞が前記セラミック層の延びる方向に沿ってそれぞれ形成されるとともに、前記圧電振動子の振動の、前記セラミック層の延びる方向への漏れを防止するための振動漏れ防止用空洞が前記圧電振動子の周囲の少なくとも一部に形成されている、圧電共振部品。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/205

FI (3件)：

H03H 9/17 E ,  H03H 9/02 L ,  H03H 9/205