特許
J-GLOBAL ID:200903044657855718

テープ供給方法及び装置並びに基板へのテープ貼り付け方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 和田 昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-043536
公開番号(公開出願番号):特開2005-236049
出願日: 2004年02月19日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】 基板に圧着するテープを供給する際にテープに必要以上の負荷をかけることなく張力を一定に保ちつつ供給できるような基板へのテープ供給方法を用いたテープ貼り付け方法を提供すること。【解決手段】 基板に貼り付けるテープを供給するテープ供給方法において、モータ42により回転する供給リール41に巻回されたテープ6を、加えられる力によって角度が変化するテンションアーム45上に設けられたテンションローラ43を経て供給し、このテンションアーム45の角度をエンコーダ46により測定しておき、測定結果に基づいてテンションアーム45の角度を所定の角度に維持するように供給リール41のモータ42の出力を調整して張力を一定に保ちながらテープ6を供給する供給方法を用いたテープ貼り付け方法。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板に貼り付けるテープを供給するテープ供給方法において、 モータにより回転する供給リールに巻回されたテープを、加えられる力によって角度が変化するテンションアーム上に設けられたテンションローラを経て供給し、このテンションアームの角度を測定しておき、測定結果に基づいてテンションアームの角度を所定の角度に維持するように供給リールのモータ出力を調整して張力を一定に保ちながらテープを供給することを特徴とするテープ供給方法。
IPC (1件):
H01L21/60
FI (1件):
H01L21/60 311T
Fターム (3件):
5F044KK01 ,  5F044LL09 ,  5F044PP15
引用特許:
出願人引用 (3件)

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