特許
J-GLOBAL ID：200903044671321793
ピックアップ方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-113561
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288318
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 ピックアップ時のペレットの損傷や粘着剤による汚染を防ぐ。【構成】 ペレット2が粘着された粘着シート3を水平に保持するテーブル11の下方には紫外線照射ユニット12が配置され、紫外線照射ユニット12は退避位置と粘着シート3を押し上げる上限位置とに移動され、内部には紫外線照射ランプ15が収納されて照射窓14から紫外線を照射する。紫外線照射ユニット12の上方には粘着シート3から剥離されたペレット2を真空吸着するコレット17が設けられている。粘着シート3の粘着剤は紫外線の照射により硬化して粘着力が低下する材料で形成される。【効果】 粘着力を低下させてペレットを粘着シートから剥離させるため、コレットの真空吸着力だけでもペレットを粘着シートからピックアップでき、ペレット突き上げ用のニードルを省略できる。
請求項（抜粋）：
多数個の小物品が粘着されている粘着シートが固定的に保持され、この粘着シートから前記小物品をピックアップするピックアップ方法において、前記小物品を粘着する粘着シートの粘着剤を紫外線の照射によって粘着力が低下する粘着剤で形成し、ピックアップ時に、これからピックアップしようとする小物品が粘着されている粘着シート部分に紫外線を照射し、これからピックアップしようとする小物品の粘着シート部分における粘着剤の粘着力を弱めて粘着シートから小物品を離脱させることを特徴とするピックアップ方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/52 F
, H01L 21/68 E
