特許
J-GLOBAL ID：200903044671489295
真空洗浄・乾燥方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105164
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227581
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 石油系可燃性溶剤を洗浄剤として用いた金属、プラスチック部品の洗浄及び乾燥を効率よく簡単に行なうことのできる真空洗浄及び乾燥方法及び真空洗浄装置及び真空乾燥装置の提供。【構成】 真空容器内に加温して貯留した石油系溶剤中に、加温した保持台に搭載したワークを浸漬し、洗浄室内を真空引きして洗浄を行なう。その後、洗浄液から引き上げて蒸留再生した洗浄液によりシャワー洗浄する。洗浄が終了した後は、乾燥室において洗浄時の真空度より高い真空度に真空引きをしながら洗浄済みのワークの真空乾燥を行なう。このとき真空引きされた排気は貯留水にバブリングされ、溶剤、塩素等は水に混合または分散され、大気中に放出されない。更に真空洗浄・乾燥機と真空蒸留器が大気を介さずに接続されているので安全性が非常に高い。
請求項（抜粋）：
石油系溶剤等の可燃性溶剤中でワークに付着した洗浄対象物を除去する洗浄工程、前記ワークを前記可燃性溶剤から引き上げ、前記ワークに付着した前記可燃性溶剤を除去する乾燥工程、前記洗浄対象物が混入した前記可燃性溶剤を蒸留により再生する溶剤再生工程を有し、前記各工程を真空中で行なうことを特徴とする真空洗浄・乾燥方法。
IPC (4件)：
B08B 3/08
, C23G 5/02
, C23G 5/04
, F26B 5/04
